Lúče odrazené od obidvoch zrkadiel sa vektorovo sčítajú na polopriepustnej ploche. Intenzita osvetlenia v tomto mieste je meraná optoelektronickým snímačom. Intenzita je úmerná kvadrátu elektrickej zložky výsledného poľa vzniknutého interferenciou lúčov odrazených od referenčného a meracieho zrkadla. Spočítaním maxima a minima osvetlenia sa určí poloha. V optoelektronických senzoroch sa používajú ďalšie modifikácie interferometrov, z ktorých najznámejšie sú
- Twyman-Greenov
- Mach-Zehnderov
- Fábry-Perotov.

5.7 Interferometrický laserový snímač polohy a rýchlosti pohybu objektu

Ide o modifikáciu Michelsonovho princípu opierajúcu sa o dvojfrekvenčný laser s náplňou HeNe. Laserový zdroj emituje svetelné žiarenie v dvoch frekvenciách a opačnej polarizácii. Za deličom opäť vzniká preferenčný a merací zväzok. Polarizácia referenčného zväzku pred jeho dopadom na optoelektronický snímač spôsobí, že zariadenia na obidvoch kmitočtoch majú rovnakú polarizáciu a vzájomnou interferenciou vzniknú maximá a minimá intenzity osvetlenia. Na výstupe referenčného snímača vzniká signál o kmitočte 2 MHz.

5.8 Dvojitý laserový interferometer

Na prenos interpolácie má zásadný vplyv amplitúda intenzity elektrického poľa obidvoch lúčov. Nulovej intenzity osvetlenia možno dosiahnuť len pri rovnosti oboch zložiek, to však je prakticky nerealizovateľné, nakoľko počet priechodov deličom zväzku je pre lúče rôzny a prostredie v dráhe meriaceho lúča i koeficient odrazivosti objektu sa mení. Ďalej v základnom usporiadaní nemožno rozoznať smer pohybu.
Dvojitý Michelsonov interferometer na obr. 5.7. rieši tieto nedostatky zavedením ďalšieho optického kanálu, v ktorom sa používajú zväzky posunuté. Popísaná modifikácia tohto interferometru je vhodná pre realizáciu technológie integrovanej optiky na jednom Si čipe. Integrovaný planárny interferometer je udržiavaný na stálej teplote elektronickým termoregulátorom a možno dosiahnuť rozlíšenie rádovo až desať nm.